Industrijski Multi-Peak interferometri za nanometersko natančnost

logo

Tipteh d.o.o.
Micro-Epsilonovi industrijski Multi-Peak (MP) interferometri z belo svetlobo so nepogrešljivi za enostranske meritve razdalj in/ali debeline plasti v večplastnih tarčah.

Brezkontaktno, z nanometersko natančnostjo in pikometersko ločljivostjo, lahko z njimi sočasno izmerite razdalje in debeline do 13. plasti, prosojnih za IR.

Izmerite več plasti z le enim merilnim procesom
Micro-Epsilonovi industrijski interferometri z belo svetlobo sedaj vključujejo različice MP (Multi-Peak). Z njimi brezkontaktno, zelo natančno in sočasno izmerite razdalje in/ali debeline plasti v večplastnih tarčah. Izmerite lahko več plasti, substratov in premazov, ki so prosojni za IR svetlobo (840 nm). Poleg tega vam IP65 ohišja senzorjev teh interferometrov omogočajo njihovo uporabo v zahtevnih industrijskih okoljih.

S temi interferometri se vam odpirajo številne nove možnosti za aplikacije, zlasti v industriji polprevodnikov, pa tudi v proizvodnji stekla, baterij in plastike/filmov.

Izkoristite izjemno natančnost
Micro-Epsilonovi visokozmogljivi interferometri s polikromatsko belo svetlobo vam zagotavljajo najvišjo stopnjo natančnosti pri brezkontaktnem merjenju absolutne optične razdalje in/ali debeline enoplastnih tarč. Zahvaljujoč svoji izjemni ločljivosti (<30 pikometrov) in odlični linearnosti so neprimerno natančnejši od konfokalnih merilnih sistemov. Za razliko od tradicionalnih laserskih interferometrov uporabljajo svetlobni vir s širokim spektrom valovnih dolžin, kar omogoča zelo natančne absolutne meritve. Poleg tega vam, z valovnimi dolžinami blizu IR dela spektra, odpirajo možnost meritve debeline antirefleksnega stekla, plastike, odsevnih kovin in prevlečenih predmetov (coated objects).

Poleg zgoraj naštetega, vam MP različice sedaj omogočajo še enostranske meritve večplastnih tarč. Z MP modeli za merjenje razdalje lahko sočasno izmerite tako razdalje kot debeline večjega števila plasti. Za izračun debeline posameznih plasti upoštevajo razdalje med mejami plasti in lomne količnike teh plasti. Z MP modeli za merjenje debeline lahko izmerite debelino posameznih plasti ali njihovih kombinacij, ne pa tudi razdalj.


Uporabite različne Multi-Peak modele za različne naloge
Na voljo sta vam dva MP merilna sistema, MP model za merjenje razdalje (IMS5x00-DS/MP) in MP model za merjenje debeline (IMS5400-TH/MP):

  • MP modeli za merjenje razdalje vam bodo še posebej koristili za naloge poravnave in pozicioniranja, v katerih morate hkrati izmeriti razdaljo in določiti debelino. Pri tem je lahko večplastna tarča debela do 2,1 mm in sestavljena iz do 13 prosojnih plasti, z najmanjšo debelino posamezne plasti 10 µm. Ker ti interferometri merijo absolutne razdalje (za razliko od laserskih), vam jih po prekinitvi signala (npr. na stopničastih prehodih ali robovih) ni treba ponovno umerjati.
  • MP modele za merjenje debeline izkoristite za meritve večplastnih tarč iz do 5-ih plasti, z debelino posamezne plasti od 35 µm do 1,4 mm in skupno debelino tarče do 4,2 mm oz. 7 mm (odvisno od modela). Možnost meritev z velike razdalje pri njih dodatno poskrbi za večjo zanesljivost meritve in zaščito senzorja pred poškodbami.

Interferometre hitro nastavite in enostavno upravljajte
Rešitev Micro-Epsilon vam omogoča ogromno raznolikih nastavitev, ki jih enostavno izvedete preko modernega, uporabniku prijaznega spletnega vmesnika.

Za optimalno integracijo interferometra v naprave in sisteme vam je na voljo širok nabor vmesnikov:

  • digitalni vmesniki (Ethernet / EtherCAT / RS422; z dodatnim modulom še Profinet / EtherNet/IP),
  • enkoderske povezave,
  • analogni izhodi,
  • sinhronizacijski izhodi in
  • digitalni I/O.

Tudi zagon in parametriranje potekata preko spletnega vmesnika in ne zahtevata namestitve posebne programske opreme.

Interferometre enostavno namestite in natančno pozicionirajte
Pri enostranskem merjenju debeline enega ali več transparentnih slojev vibracije ali drugi premiki tarče ne vplivajo bistveno na meritev. Robustna IP65 senzorska ohišja poskrbijo, da lahko interferometre uporabite tudi v najzahtevnejših industrijskih razmerah. Poleg standardnih so vam na voljo tudi MP različice za aplikacije v vakuumu.

Natančno pozicioniranje in prilagajanje senzorskih glav interferometrov lahko pri montaži zagotovite s prilagodljivimi JMA nosilci. Skupaj s senzorji jih vgradite v stroj ali napravo in nato senzorske glave optimalno pozicionirate na njihovem delovnem mestu. Prilagodljivi nosilec je namenjen tako za enostranske kot za dvostranske meritve debeline, saj vam omogoča natančno pozicioniranje obeh senzorskih glav hkrati.
Drugi model nosilcev je namenjen za enostanske meritve razdalje in debelin, podobno kot pri Micro-Epsilon konfokalnih senzorjih.

Izkoristite Multi-Peak interferometre v različnih aplikacijah
Najpogostejša aplikacija interferometrov MP za merjenje debeline v industriji je enostranska meritev debeline večplastnega stekla, tankih filmov oz. prevlek, leč in podobnih površin, ki so prosojne za IR svetlobo. Uporabljate jih lahko v steklarski industriji, industriji tankih slojev/filmov, zaslonov, LED in še marsikje.

Z interferometri MP za razdalje lahko v industriji merite razdalje do najrazličnejših prosojnih večplastnih materialov: stekla, kovine, tankih filmov oz. prevlek, leč, in drugih površin. Predvsem vam bodo koristili v visokotehnoloških polprevodniških in mikroelektronskih panogah.

Pogosta je tudi uporaba interferometrov MP v kontroliranih laboratorijskih pogojih, ravno zaradi njihove zelo visoke resolucije in natančnosti.
URL novice:
https://tipteh.com/si/senzorji/visoko-natancni-senzorji/industrijski-interferometri-mp/

Tipteh d.o.o.
Ulica Ivana Roba 23
1000 Ljubljana
info@tipteh.si
+386 (0)1 200 51 50
www.tipteh.com/si

Sorodni članki

Zadnji članki

Kako naredijo moderne ležaje

Izdelava krogličnih ležajev: https://www.youtube.com/watch?v=T53zdMvOPmE

Svet mehatronike 40

Pozdravljene drage bralke in dragi bralci! Plastika je povsod okrog nas in še kako pomembno je, da jo čim več recikliramo. Ne samo zaradi skrbi za okolje, pač pa tudi zaradi skrbi za energente in vire, ki bi jih porabili s proizvodnjo nove plastike.

S3N – Nova, napredna serija optičnih senzorjev DATASENSING

Proizvajalec industrijskih senzorjev DATASENSING lansira novo serijo optičnih senzorjev S3N: celotno linijo miniaturnih fotoelektričnih senzorjev z najsodobnejšimi funkcionalnostmi in izboljšanimi mehanskimi lastnostmi.

Želite biti na tekočem z najnovejšimi novicami?

Radi bi vas slišali! Prosimo, izpolnite svoje podatke in ostali bomo v stiku. Tako preprosto je!